無油爪式真空泵依據科學的運行結構設計，泵腔內具有若干組相互嚙合的爪型轉子，轉子懸浮于泵腔內。轉子與轉子之間及轉子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，無摩擦，噪音低，但轉子轉速快，抽氣速率高。

無油爪式真空泵適于用作氣體輸送泵。無油爪式真空泵泵腔體內有防腐涂層，泵腔內不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環境，不擔心真空泵油乳化影響運行。強大的排塵能力、排水汽能力，腐蝕性氣體處理能力，能抽除腐蝕性、有毒性、放射性及含有粉塵的氣體，且無油爪式真空泵本身并不會產生任何制程污染。

無油爪式真空泵依據科學的運行結構設計，泵腔內具有若干組相互嚙合的爪型轉子，轉子懸浮于泵腔內。轉子與轉子之間及轉子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，無摩擦，噪音低，但轉子轉速快，抽氣速率高。

無油爪式真空泵適于用作氣體輸送泵。無油爪式真空泵泵腔體內有防腐涂層，泵腔內不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環境，不擔心真空泵油乳化影響運行。強大的排塵能力、排水汽能力，腐蝕性氣體處理能力，能抽除腐蝕性、有毒性、放射性及含有粉塵的氣體，且無油爪式真空泵本身并不會產生任何制程污染。

無油爪式真空泵無接觸運行，運轉時轉子與轉子之間無接觸無磨損，壓縮過程中無需使用真空泵油或工作液，對微小粉塵及水汽不敏感，能實現泵的長期性可靠運行。維護成本低，無需定時保養,大大節省使用成本。常應用于一些真空泵使用環境比較惡劣，或對油式真空泵“不友好”的行業或制程上。

隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。而使用適當型式的干式真空泵，則可以達到理想的使用效果。

無油爪式真空泵優點突出，作為干式真空泵的一支，無油爪式真空泵市場應用需求量很大。由于工業與環境的發展，工業真空獲得產品甚至出現了更新換代的局面，大量的有油式真空系統被無油清潔的真空系統所代替。

無油爪式真空泵具有免拆泵清洗功能，在使用過程中如有大量液體，粉塵或粘稠等異物進入泵內，可以在不拆泵的情況下，半小時能對泵內部全部清洗并恢復到出廠水平，工作狀態穩定。

無油爪式真空泵常被應用于真空吸持固定或搬運、物料脫氣、自動化模具抽氣、負壓罐裝、醫院負壓系統訂制、工廠中央系統供氣、制藥、印刷集成系統、電子、半導體、SMT、3C、航天航空，環保以及石化行業。

從長遠使用的耗費成本上看，油式泵需要定期保養耗費大量人力與物力成本，而不需維持的無油爪式真空泵，無疑就成了制程上選。

大路通公司配置的無油爪式真空泵機組是液力傳動羅茨泵加上無油爪式真空泵的組合，機組的極限壓力可達1ｘ10-2Pa。此無油爪式真空泵組體積小、重量輕、噪聲低、無振動、可靠性好，以現在太陽能行業多晶硅鑄錠爐工中無油爪式真空泵的真空使用技術替代濕式真空泵是國際發展趨勢，未來將是干泵世紀。應用濕式真空泵高能耗，高排污費用增加了企業成本，降低了企業競爭力。運用無油爪式真空泵替代油泵，不但符合國家政策方向，而且節能環保，更能為企業帶來顯著的經濟效益.